飞秒激光制备双材料微型致动器的方法研究

TL;DRAbstract

微型致动器在许多领域中有着广阔的应用场景，然而微纳米尺度致动器大多数只能由单材料制备，无法适应复杂多变的环境。针对日益增加的双材料或多材料致动器需求，基于飞秒激光分步加工的方式，提出了一种将温敏水凝胶和光刻胶耦合到同一微型器件上的方法。温敏水凝胶能够响应外部环境刺激而发生变形，光刻胶则具有良好的力学性能。两种材料复合的微型器件不仅能够实现可编程变形，还具备优异的力学性能，并可通过温度控制来执行指定任务。作为验证，成功制备了微型阀门和仿生贝壳两种双材料微型致动器，拓展了所提方法在微流控通道和微粒捕获领域中的应用范围。

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