Κατασκευή συστήματος μέτρησης απολύτου ροής θετικών ιόντων σε ηλεκτρικές εκκενώσεις χαμηλής πίεσης

TL;DRAbstract

Σημαντικό ρόλο στις βιομηχανικές εφαρμογές πλάσματος παίζει η ροή των ιόντων. Ωστόσο, συχνά συναντάται το πρόβλημα της εναπόθεσης μονωτικών υμενίων καθιστώντας τους ηλεκτροστατικούς καθετήρες μη λειτουργικούς για τη μέτρηση της ροής αυτής. Ένας εναλλακτικός καθετήρας, ικανός να λειτουργήσει σε αυτές τις συνθήκες, προτάθηκε από τους N. S. J. Braithwaite et al. [1]. Στην παρούσα εργασία παρουσιάζονται, πρώτον, η θεωρία λειτουργίας του καθετήρα αυτού, δεύτερον η κατασκευή του και τρίτον η ανάπτυξη τού συστήματος για την οδήγησή του καθώς και την καταγραφή και την επεξεργασία των σημάτων του. Τέλος, γίνεται πειραματική εξακρίβωση της σωστής λειτουργίας της συσκευής, σε διάταξη επαγωγικού πλάσματος ραδιοσυχνοτήτων (13.56 MHz).

Chat with Paper

AI Agents for this Paper