Dynamik der Laserablation von CO2-Filmen

TL;DRAbstract

Die Wechselwirkung von Laserlicht und Oberflächen nimmt einen immer größeren Stellenwert in der Forschung, in industriellen Anwendungen und auch im Alltag ein. Dabei reicht die Spannweite von der Materialbearbeitung ¨uber die Medizin- technik bis hin zu hochsensiblen Anwendungen in der Halbleiterindustrie oder der Analytik. Im Falle der Materialbearbeitung wird die Laserstrahlung vom zu bear- beitenden Material absorbiert, welches dadurch über die thermischen und mechanischen Belastungsgrenzen hinaus beansprucht und abgetragen wird. Ebenso kann ablatiertes Material gezielt auf Substraten adsorbiert werden und so eine Vielzahl neuer Materialien erzeugt werden. In der Lasermedizin beruhen die meisten Anwendungen dagegen auf der Absorption des Laserlichtes von im Gewebe eingelagertem Wasser. Hier werden Laser vorwiegend als hochpräzise Skalpelle eingesetzt. Im Bereich der Halbleiterindustrie ist vor allem das Laser Cleaning zu nennen. Es handelt sich dabei um die Reinigung von Halbleitero

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