Sistema de controle microprocessado para tanques para Wet-etching/cleaning em microeletronica

TL;DRAbstract

Tanques para banho a temperatura constante necessitam de um sistema de controle para monitoracao e controle de sua temperatura de operacao e demais funcoes. O controle da temperatura deve ser rigido e preciso; condicoes de alarme e desligamento automatico devem ser previstos. O presente trabalho pretende estudar, implementar e testar um prototipo de um sistema de controle microprocessado para tais tanques. Este trabalho apresenta um controlador digital do tipo PID, baseado na arquitetura do microcontrolador 8051 da Intel, com aIto desempenho, robusto, eficiente e simples, caracteristicas estas comprovadas atraves de testes praticos realizados no final do projeto Abstract

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