喷雾热解法（SPD）的效果——透明,导电,取向3元功能二氧化锡薄膜的形成

TL;DRAbstract

在化学薄膜制造法中有一种喷雾热解法（ＳＰＤ），由于其原材料是液相，是离子，聚合物，离子团，液胶等，所在，它能很容易形成复杂的化合物和固溶体薄膜，而且具有装置简单，容易操作，大面积化，容易保持，调节成分和组成等特征，我们使用这种方法对原料化合物，溶剂，基板温度等成生长参数进行了详细的研究，并在玻璃基板上成功地形成了高取向性的ＳｎＯ２膜膜，这个成果作为开拓以征常见的ＳＰＤ法的新应用领域的线索而引人注目

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