Kapcsolt termoanalitikai módszerek vékony filmek technológiájának fejlesztésében

TL;DRAbstract

A termikus analízis, amelynek Magyarországon is nagy 
\nhagyományai vannak,1,2 leggyakrabban porított, ill. 
\naprított formájú analitikai mintákat vizsgál. Azonban a 
\ntermoanalitikai technikák és mérőberendezések, jelenlegi 
\nmagas összetettségi szintjüknek köszönhetően már 
\nma is képesek vizsgálni olyan hőmérséklet indukálta 
\nváltozásokat, amelyek vékony fi lmekben jelennek meg, ahol 
\na rendelkezésre álló mintamennyiség csekély, rendszerint 
\n1 mg/cm2
\n alatt van. Ez kiszélesíti a termikus analízis 
\nalkalmazhatósági körét a vékonyfi lm-technológiához, 
\nmely kulcsszerepet játszik új anyagok, folyamatok és 
\neszközök kifejlesztésében, különösen a mikroelektronikai és 
\noptoelektronikai ipar számára. 3,4
\nEgyik nem túl régi példája a mind vékony rétegek 
\nmind porok formájában igen jelentős alkalmazási 
\npotenciállal bíró új anyagoknak a magas hőmérsékletű 
\nszupravezetők. A termikus analízist ezen új

Chat with Paper

AI Agents for this Paper