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Open AccessDissertation10.47749/t/unicamp.2002.272549

Modelagem e analise detalhadas de sistemas de vacuo

TL;DRAbstract

Os objetivos deste trabalho foram criar, desenvolver e aprimorar ferramentas matemticas tanto analticas como numricas para modelar e analisar detalhadamente sistemas de vcuo. Foram consideradas duas maneiras de modelar sistemas de vcuo, denominadas de formulaes discreta e contnua. Na formulao discreta os sistemas de vcuo so tratados de modo que a presso em funo do tempo na cmara de vcuo pode ser obtida a partir da especificao das suas fontes de gases e vapores, das dimenses da linha de bombeamento e das bombas de vcuo. Foram consideradas as condutncias e as fontes gasosas importantes para processos em vcuo em geral, alm de obtidas as expresses matemticas para as curvas de velocidade de bombeamento das bombas de vcuo. A anlise numrica feita utilizando os mtodos de Euler-Heun e Runge-Kutta de quarta ordem. Na formulao contnua os sistemas de vcuo so modelados de forma que a presso possa ser determinada em todas as suas partes e em funo do tempo. Foram estudados em detalhe e exemplificados

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Os objetivos deste trabalho foram criar, desenvolver e aprimorar ferramentas matemticas tanto analticas como numricas para modelar e analisar detalhadamente sistemas de vcuo. Foram consideradas duas maneiras de modelar sistemas de vcuo, denominadas de formulaes discreta e contnua. Na formulao discreta os sistemas de vcuo so tratados de modo que a presso em funo do tempo na cmara de vcuo pode ser obtida a partir da especificao das suas fontes de gases e vapores, das dimenses da linha de bombeamento e das bombas de vcuo. Foram consideradas as condutncias e as fontes gasosas importantes para processos em vcuo em geral, alm de obtidas as expresses matemticas para as curvas de velocidade de bombeamento das bombas de vcuo. A anlise numrica feita utilizando os mtodos de Euler-Heun e Runge-Kutta de quarta ordem. Na formulao contnua os sistemas de vcuo so modelados de forma que a presso possa ser determinada em todas as suas partes e em funo do tempo. Foram estudados em detalhe e exemplificados

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